Технические характеристики фоторезиста ФП-9120-1,0 производства ФГУП «ГНЦ «НИОПИК»:
| № | Характеристики | ФП-9120-1,0 ТУ 2378-027-05784466-2005 |
|---|---|---|
| 1 | Внешний вид фоторезиста | Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета |
| 2 | Кинематическая вязкость при (20±0,5) °C мм2/сек | 13-17 |
| 3 | Массовая доля воды в фоторезисте, %, не более | 1,0 |
| 4 | Фильтруемость, г-1, не более | 0,010 |
| 5 | Разрешающая способность, мкм, не более | 1.0 |
| 6 | Толщина пленки фоторезиста, мкм | 1,1-1,3 |
| 7 | Адгезия пленки фоторезиста к поверхности окисла кремния | Отсутствие отслаивания элементов шириной 2 мкм |
| 8 | Устойчивость пленки фоторезиста к проявителю, мин., не менее | 30,0 |
| 9 | Рекомендуемый проявитель | 0,6%-ный раствор КОН |
С целью улучшения потребительских свойств фоторезистов в ФГУП «ГНЦ «НИОПИК» проводится непрерывная работа разработке современных светочувствительных и пленкообразующих компонентов, а также по совершенствованию композиций фоторезистов серийного производства с целью повышения качества. К началу 2016 года планируется освоение крупнотоннажного производства новой серии позитивных фоторезистов ФП-3500. Данная серия является аналогом импортных фоторезистов Microposit S1800 и будет выпускаться с применением новолачной смолы и светочувствительно компонента собственного производства. Серия ФП-3500 по техническим характеристика будет полностью соответствовать импортным аналогам и удовлетворять более высоким требованиям по стабильности при хранении, качеству теплостойкости пленки, содержанию частиц и микропримесей металлов по сравнению с ФП-9120-1,0 и ФП-383.
