Запуск ТМАГ 20%

ФГУП «ГНЦ «НИОПИК» информирует о запуске производства тетраметиламмония гидроксида 20-ого водного раствора квалификации «х.ч.» (ТУ 2638-083-05784466-2015).

Гидроксид тетраметиламмония (ГТМА, TMAH, TMAOH) – четвертичное аммонийное основание, обладающее поверхностно-активными свойствами. Водный раствор ГТМА применяется в литографических процессах в качестве безметального проявителя для пленок фоторезистов (2,38% раствор) и анизотропного травителя для кремния и арсенида галлия (5-25% раствор). Эффективен для удаления фоторезистной маски.

В настоящее время ФГУП «ГНЦ «НИОПИК» является единственным отечественным производителем раствора гидроксида тетраметиламмония. Использование уникальной технологии электрохимического синтеза позволяет получить высококачественных продукт, не уступающих по качеству импортным аналогам. Рекомендуется в качестве замены импортных безметальных проявителей AZ 326 MIF, AZ 726 MIF, AZ 826 MIF, ТМА 238WA, MF21A. Может применяться в качестве безметального проявителя как для отечественных, так и для импортных фоторезистов. Высокое качество ГТМА производства ФГУП «ГНЦ «НИОПИК» отмечено положительными отзывами потребителей (ОАО «Сатурн», г. Краснодар).