ФП 9120-1
Универсальный тонкопленочный позитивный фоторезист (g- и h- линия) для контактного и проекционного экспонирования с водно-щелочным проявлением пленки раствором едкого калия.
Характеристики
Разрешающая способность пленки фоторезиста: мкм
—
1
Область применения
—
для применения в фотолитографических процессах контактного и проекционного экспонирования в производстве интегральных схем с уровнем интеграции 16-64 Кбит, полупроводниковых приборов металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат с применением водно-щелочного проявления раствором едкого калия
Цена действительна только для интернет-магазина и может отличаться от цен в розничных магазинах
ФП 9120-1
Цены
ФП 9120-1 1 кг
В зависимости от марки пленка фоторезиста обеспечивает разрешающую способность от 1 до 2 мкм, устойчивость к проявителю от 30 до 50 мин, светочувствительность не более 2,5-2,7 мДж/см2.
Фоторезисты серии ФП-9120 являются аналогами по применению фоторезистов ФП-383, ФП-10, ФП-051Ку, Microposit S1813 G2. Возможен выпуск любой модификации, обеспечивающей толщину пленок от 0,5 до 3,5 мкм и окрашенных форм ФП-9120-2-К, ФП-9120-Ш.
Фоторезисты серии ФП-9120 являются аналогами по применению фоторезистов ФП-383, ФП-10, ФП-051Ку, Microposit S1813 G2. Возможен выпуск любой модификации, обеспечивающей толщину пленок от 0,5 до 3,5 мкм и окрашенных форм ФП-9120-2-К, ФП-9120-Ш.
| Наименование показателя |
Норма показателя |
||
|---|---|---|---|
| ФП-9120-1 | ФП-9120-1,8 | ФП-9120-2 | |
| Внешний вид | Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета | Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета | Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета |
| Кинематическая вязкость,мм2/с | 13-17 | 26-29 | 29-34 |
| Фильтруемость, г-1, не более | 0,010 | 0,010 | - |
| Разрешающая способность пленки фоторезиста, мкм | 1 | 1 | 2 |
| Толщина пленки фоторезиста, мкм | 1,1-1,3 | 1,7-1,9 | 1,9-2,3 |
| Адгезия пленки фоторезиста к поверхности окисла кремния | Отсутствие отслаивания элементов шириной | ||
| 2 мкм | 2 мкм | 3 мкм | |
| Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, мин, не менее | 30 | 45 | 50 |
| В процессе растворения пленки не должно наблюдаться ряби и радиальных лучей | |||
| Теплостойкость проявленного рельефа при температуре (130±2)°С | Отсутствие полного затекания промежутков между элементами шириной | ||
| 2 мкм | 3 мкм | 3 мкм | |
Рекомендации по применению ФП 9120-1
| Наименование операции | Режимы проведения операции |
|---|---|
| Нанесение | Центрифугирование при скорости вращения 3000 об/мин: время вращения центрифуги 60 с. |
| Сушка |
Пластины с пленкой фоторезиста выдерживают:
|
| Экспонирование | Светочувствительность пленки фоторезиста толщиной (1,1-1,3) мкм не более 40 мДж/см2. |
| Проявление | Проявитель 0,6%-ный (0,105 н) водный раствор КОН; время проявления 30-60 с. |
| Термообработка | В термошкафу при температуре 120 °С в течение 20 мин. |
| Удаление | Пленка удаляется обработкой в нагретом до (60-80) °С N, N-диметилформамиде или в смеси его с 5% триэтаноламином. |
Характеристики
|
Разрешающая способность пленки фоторезиста: мкм
|
1 |
|
Область применения
|
для применения в фотолитографических процессах контактного и проекционного экспонирования в производстве интегральных схем с уровнем интеграции 16-64 Кбит, полупроводниковых приборов металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат с применением водно-щелочного проявления раствором едкого калия |
|
Срок годности, лет
|
1 |
|
Консистенция
|
вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета. |
|
Варианты фасовки
|
бутылка 1000 мл |
|
ТУ
|
20.59.12-027-58538514-2022 |
|
Кинематическая вязкость, мм2/с
|
13-17 |
|
Толщина пленки фоторезиста, мкм
|
1,1-1,3 |
Отгрузка со склада НИОПИК производится кратно транспортной упаковке.
Возможен самовывоз со склада по адресу: г. Долгопрудный,
Лихачевский проезд, д. 7.
Доставка:
- Стоимость доставки по Москве - 1500 руб. (в пределах МКАД);
- Обеспечиваем бесплатную доставку до московского терминала транспортных компаний (ПЭК, Деловые Линии, Грузлайн, Карго, Байкал-Сервис, ЖелДорЭкспедиция, ГлавДоставка).
