Позитивный фоторезист ФП-383

ТУ 2378-082-05784466-2015 (взамен ТУ 6-14-632-86)

Универсальный позитивный фоторезист ФП-383 предназначен для использования в фотолитографических процессах контактного и проекционного экспонирования спектром ртутной лампы (h- и g-линия) в производстве интегральных схем, полупроводниковых приборов, металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат.

Наименование показателя		Норма показателя
1	Внешний вид фоторезиста	Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета
2	Кинематическая вязкость фоторезиста, мм2/с	5,0-6,0
3	Массовая доля воды в фоторезисте, %, не более	0,6
4	Фильтруемость, г-1, не более	0,010
5	Разрешающая способность пленки фоторезиста, мкм	1
6	Толщина пленки фоторезиста, мкм	1,0-1,2
7	Адгезия пленки фоторезиста к поверхности окисла кремния	Отсутствие отслаивания элементов шириной 2 мкм
8	Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, мин, не менее	30. В процессе растворения пленки не должно наблюдаться образования ряби и радиальных лучей
9	Теплостойкость проявленного рельефа при температуре (130±2)оС	Отсутствие полного затекания промежутков между элементами шириной 2 мкм
10	*Светочувствительность пленки, мДж/см2, не более	40
11	*Гамма-контраст, не менее	2,7

Срок гарантийного хранения фоторезиста ФП-383 - 12 месяцев.

Рекомендации по применению ФП-383

Наименование операции	Режимы проведения операции
Нанесение	Центрифугирование при скорости вращения 3000 об/мин: время вращения центрифуги 60 с..
Сушка	Пластины с пленкой фоторезиста выдерживают: - в скафандре при температуре (18-25) °С в течение 20 мин; - в термошкафу при температуре (97±3) °С в течение 30 мин; - в скафандре при температуре (18-25) °С в течение 30 мин.
Экспонирование	Светочувствительность пленки фоторезиста толщиной (1,0-1,2) мкм не более 40 мДж/см2.
Проявление	Проявитель 0,7%-ный (0,125 н) водный раствор КОН; время проявления 30-60 с.
Термообработка	В термошкафу при температуре 120 °С в течение 20 мин.
Удаление	Пленка удаляется обработкой в нагретом до (60-80) °С N, N-диметилформамиде или в смеси его с 5% триэтиламина.