Позитивные фоторезисты серии ФП-9120

Позитивные фоторезисты серии ФП-9120: ФП-9120-1,0; ФП-9120-1,8; ФП-9120-2,0 

ТУ 2378-027-05784466-2005

Предназначены для применения в фотолитографических процессах контактного и проекционного экспонирования в производстве интегральных схем с уровнем интеграции 16-64 Кбит, полупроводниковых приборов металлизированных шаблонов, шкал, сеток, печатных плат с применением водно-щелочного проявления раствором едкого калия. Экологически безопасны. Фоторезисты серии ФП-9120 являются аналогами по применению фоторезистов ФП-383, ФП-10, ФП-051Ку, Microposit S1813 G2. Возможен выпуск любой модификации, обеспечивающей толщину пленок от 0,5 до 3,5 мкм и окрашенных форм ФП-9120-2-К, ФП-9120-Ш. 

Наименование показателя	Норма показателя
	ФП-9120-1	ФП-9120-1,8	ФП-9120-2
Внешний вид	Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета	Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета	Вязкая прозрачная жидкость желто-коричневого цвета
Кинематическая вязкость,мм2/с	13-17	26-29	29-34
Фильтруемость, г-1, не более	0,010	0,010	-
Разрешающая способность пленки фоторезиста, мкм	1	1	2
Толщина пленки фоторезиста, мкм	1,1-1,3	1,7-1,9	1,9-2,3
Адгезия пленки фоторезиста к поверхности окисла кремния	Отсутствие отслаивания элементов шириной
	2 мкм	2 мкм	3 мкм
Устойчивость пленки фоторезиста в проявителе, мин, не менее	30	45	50
	В процессе растворения пленки не должно наблюдаться ряби и радиальных лучей
Теплостойкость проявленного рельефа при температуре (130±2)°С	Отсутствие полного затекания промежутков между элементами шириной
	2 мкм	3 мкм	3 мкм

Рекомендации по применению ФП-9120-1,0

Наименование операции	Режимы проведения операции
Нанесение	Центрифугирование при скорости вращения 3000 об/мин: время вращения центрифуги 60 с.
Сушка	Пластины с пленкой фоторезиста выдерживают: в скафандре при температуре (18-25) °С в течение 20 мин; в термошкафу при температуре (97±3) °С в течение 40 мин; в скафандре при температуре (18-25) °С в течение 30 мин.
Экспонирование	Светочувствительность пленки фоторезиста толщиной (1,1-1,3) мкм не более 40 мДж/см2.
Проявление	Проявитель 0,6%-ный (0,105 н) водный раствор КОН; время проявления 30-60 с.
Термообработка	В термошкафу при температуре 120 °С в течение 20 мин.
Удаление	Пленка удаляется обработкой в нагретом до (60-80) °С N, N-диметилформамиде или в смеси его с 5% триэтаноламином.